技术领域:微电子与电子信息
   

    成果简介
   

    亚纳米激光工业检测与计量系统是利用偏振激光干涉测量原理，实现对微小位移和振动的高精度非接触式测量，系统的测量分辨率可达0.1nm，振幅测量重复精度3～5nm，还可用于长度、速度、加速度等物理参数的测量。该系统具有精度高、测量范围大、检测时间短、非接触式等优点，测量效率更高、不损伤测量表面、不易受被测对象表面状态影响。其主要技术指标如下： 
   （1）分辨率：优于10pm（5～500Hz）； 
   （2）动态范围：优于150dB（5～500Hz）； 
   （3）频率范围：5～1000Hz（可扩展）； 
   （4）测量维数：x-y二维； 
   （5）系统预热：30分钟； 
   （6）工作温度：10～40℃（工作时温度变化小于1℃）； 
   （7）体积：700×700×1200（mm），（可缩小Φ300×1200）； 
   （8）其他：光学主体密封。 
    项目成熟情况  技术成熟，可推广。 
    应用领域  精密、超精密加工领域。